Изготовление мишеней

Деятельность компании направлена на разработку эффективной технологии синтеза керамических мишеней с заданными характеристиками, предназначенных для использования в вакуумных процессах осаждения. С применением керамических мишеней станет возможным получение высокотемпературных сверхпроводниковых (ВТСП) слоев с рекордными функциональными характеристиками.

Разработка эффективной технологии синтеза керамических мишеней с заданными характеристиками включает в себя: неорганический синтез сложных оксидов, разработку новых перспективных составов керамики, процессов ее спекания.
Большое внимание при синтезе уделяется вопросам направленного получения заданной микроструктуры керамики, так как именно микроструктура (размер зерна, выделения вторых фаз, пористость и т.д.) является ключом к получению мишеней высокого качества.

Переработка мишеней

Второе важное направление исследований - разработка технологии вторичной переработки отработанных мишеней, которая заключается в точной механической обработке хрупкой керамической мишени, что является технологически непростой задачей. Решение ее требует проведения исследований в области подбора подходящих пар трения «ВТСП-обрабатывающий материал», оптимальных траекторий прохода обрабатывающего инструмента по мишени, автоматизации процесса.

Точная механическая обработка позволяет сэкономить ценный материал ВТСП-оксида, содержащий в частности редкоземельный металл, и использовать в процессе более 50% материала, содержащегося в исходных мишенях.
Помимо экономии материала, востребованность вторичной переработки отработанных мишеней определяется особенностью метода лазерного осаждения покрытий (PLD), при котором травление мишени возможно лишь в некоторых её секторах, в результате чего эффективно при общепринятом подходе используется лишь треть мишени.